常見的高純氮設(shè)備，若氮?dú)鈮毫Ω哂?.5MPa，常采用低壓返流廢氣膨脹流程，若氮?dú)鈮毫π∮?.25MPa，則采用低壓正流膨脹流程。壓力氮?dú)馓崛÷逝c產(chǎn)品的壓力、產(chǎn)量和產(chǎn)品液體量有關(guān)，產(chǎn)品壓力越高，產(chǎn)量越少，液體產(chǎn)品量越大，氮的提取率就越低。反之亦然。

附設(shè)提氧塔的壓力高純氮設(shè)備，無論是采用正流膨脹還是返流膨脹流程，產(chǎn)品氮的提取率都受到壓力塔液空氧含量和設(shè)備所需冷量的制約，因?yàn)樘嵫跛ぷ鲏毫Φ?，膨脹機(jī)的氣量仍由壓力氮塔冷凝蒸發(fā)器的液空蒸汽來滿足，這種流程對提氧塔的氧提取率制約較大。優(yōu)點(diǎn)是啟動時間較短，但由于流程比較復(fù)雜，閥門較多，操作繁瑣，并且氧提取率較低。

雙級精餾塔壓力高純氮設(shè)備，由于壓力氮作為產(chǎn)品被抽出，而下塔精餾還需要一定量的回流液，一般情況下，上塔回流液不抽取液氮，而是利用下塔的液空，因此上塔排出的污氮氧含量受到上塔壓力下液空氧含量的影響。在設(shè)備布局上，雙級精餾塔壓力高純氮空分設(shè)備的提氧塔在提氮塔的上方，占地面積小，操作簡單，氧提取率較高。缺點(diǎn)是啟動時間較長。

在液體產(chǎn)品提取量不太大的情況下，用戶一般選擇雙級精餾塔壓力高純氮流程。