液氧內(nèi)壓縮流程是從冷凝蒸發(fā)器抽出液氧產(chǎn)品，經(jīng)液氧泵壓縮到所需壓力，再經(jīng)換熱器復(fù)熱、氣化后供給用戶。內(nèi)壓縮流程由于換熱器氧通道要承受高壓，所以換熱器成本有所增加，但液氧泵的成本要比氧氣壓縮機的成本便宜很多。綜合成本因素，內(nèi)壓縮流程成本并不高于外壓縮流程。重要的是液氧不斷從主冷排出，設(shè)備安全性優(yōu)于從上塔底部抽出氣氧，況且液氧的壓縮也比氣氧壓縮更為安全，目前**上較多采用內(nèi)壓縮流程。
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