1、深冷空分設(shè)備制氮
深冷制氮是一種傳統(tǒng)的制氮方法，它以空氣為原料，經(jīng)過壓縮、凈化，再利用熱交換使空氣液化成為液態(tài)空氣。液態(tài)空氣主要是液氧和液氮的混合物，利用液氧和液氮的沸點不同，通過精餾使它們分離來獲得氮氣。
優(yōu)點：不會產(chǎn)生有害的廢氣，保護環(huán)境實現(xiàn)綠色生產(chǎn)；能獲得高純度的氮氣，純度可達99.999%以上。
缺點：制氮過程需要消耗大量的制冷劑、能源，生產(chǎn)成本高；工藝流程復(fù)雜，設(shè)備較多，維護保養(yǎng)費用高；啟動時間長，一般在15~40小時，必須連續(xù)運行，不能間斷。
3、變壓吸附制氮
在常溫常壓下，利用碳分子篩對氧氣氮氣吸附能力的差異，達到氧氮分離的物理空分法。
優(yōu)點：工藝流程簡單，自動化程度高，產(chǎn)氣快，能耗低；
啟動時間短，一般少于30分鐘，可連續(xù)運行，也可間斷運行；
設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單，維護、保養(yǎng)費用低；
設(shè)備占地面積小，對廠房面積無特殊要求；
安裝周期短，安裝費用低。
缺點：純度一般只能達到95%~99.9995%的純度，如需更高純度的氮氣，還要進行后續(xù)處理或提純。