內(nèi)壓縮設(shè)備安裝在空分設(shè)備內(nèi)部，占地面積相對(duì)較小，直接壓縮氣體，流程相對(duì)簡(jiǎn)便；氣體直接壓縮，無(wú)需使用額外的介質(zhì)，適用于對(duì)氣體純度有較高要求的情況；設(shè)備的壓力范圍通常會(huì)受到所處位置的壓力限制，但一般能滿足空氣分離或氣體液化的需求；通常安裝在空氣分離設(shè)備中，用于壓縮氧氣、氮?dú)?、稀有氣體等，用途相對(duì)專(zhuān)一但廣泛；在特定條件下，內(nèi)壓縮流程的能耗可能低于外壓縮流程。此外，內(nèi)壓縮流程中的增壓機(jī)、液氧泵等設(shè)備相對(duì)簡(jiǎn)單，操作方便，有利于降低能耗。在較高的液氧壓力下，內(nèi)壓縮流程具有較高的安全可靠性。內(nèi)壓縮流程的設(shè)備投資相對(duì)較低，生產(chǎn)液體產(chǎn)品的能力相對(duì)較強(qiáng)，且由于有備用液氧泵，能保證正常供氧的連續(xù)性。

外壓縮設(shè)備安裝通常在空分設(shè)備外部，所占用的空間和設(shè)備配置都相對(duì)較大。在壓縮過(guò)程中可能需要介質(zhì)輔助壓縮，這對(duì)于某些氣體的壓縮可能存在限制。在某些情況下，外壓縮流程的能耗可能較高。但外壓縮設(shè)備在調(diào)壓操作方面相對(duì)節(jié)能，且由于其廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域和較高的穩(wěn)定性，整體效率也相對(duì)較高。外壓縮流程透平氧壓機(jī)技術(shù)要求高、材質(zhì)要求嚴(yán)、控制系統(tǒng)要求精密和復(fù)雜，因此設(shè)備投資相對(duì)較高。