??? 液化裝置分為低壓液化循環(huán)和中壓液化循環(huán)，循環(huán)介質可以是空氣，也可以是氮氣?？筛鶕?jù)需要同時生產(chǎn)一定量的液氧和液氮，或全部液氮。這里主要以中壓液化循環(huán)流程(參見圖20)為例，說明氧氣、氮氣液化原理。
從空分裝置出13的低壓氮氣，壓力約為50kPa，經(jīng)過初級氮氣壓縮機1，壓縮到500kPa，經(jīng)氮氣循環(huán)壓縮機2加壓到2.46MPa，一部分在二級增壓機3、4，加壓到5.28MPa，另一部分直接經(jīng)熱交換器7預冷到270K，進入膨脹機5，出13壓力為616kPa，溫度為189K，5.28MPa的高壓氮氣，75%經(jīng)熱交換器冷卻到176K，進入膨脹機6，出口壓力為583kPa、溫度為96K。二股膨脹后的低溫氮氣復熱后均回到循環(huán)氮壓機進口；另外25%的5.28MPa壓力氮氣在液化器內(nèi)與139K的低壓液氮換熱節(jié)流，生成827kPa液氮，部分與低壓氧氣熱交換成為液氧，部分節(jié)流后成為液氮。
液化裝置能根據(jù)氧氣、氮氣放散量的多少來調(diào)節(jié)液氧、液氮生成量。因此，在氧氣廠中可用來作為調(diào)節(jié)空分負荷、減少氧氣放散量的輔助設備，若配置大型液體貯罐和液體蒸發(fā)系統(tǒng)，就可形成氧、氮管網(wǎng)的調(diào)峰系統(tǒng)。當管網(wǎng)壓力較低時，從液罐取出液氧、液氮，經(jīng)加壓氣化成氧氣、氮氣送入管網(wǎng)，起到調(diào)峰作用。